La puresa deDiscs de placa de polit de ceràmica d'alúminaté un impacte significatiu en el procés, principalment en les àrees següents:
1. Efecte polit:
- Els discs polits d'oblia d'alúmina d'alta puresa proporcionen una superfície polida més uniforme amb menys defectes i impureses superficials.
- L'ús de discs de poliment d'òxid d'alumini d'alta puresa per polir oblies semiconductores pot reduir la superfície principal de les cicatrius o contaminació de l'oblia, reduir la introducció d'ions metàl·lics, millorar la utilització d'oblies de silici i la qualitat del poliment.
2. Qualitat del producte:
- L'alta puresa dels discs de placa polida de ceràmica d'alúmina significa que el seu contingut d'impureses és baix, cosa que pot reduir la contaminació de la superfície de la oblia causada per impureses durant el procés de polit.
- Els discs de polit d'alta puresa ajuden a mantenir la puresa del producte, garantint un rendiment estable dels dispositius semiconductors i complint els requisits més estrictes del procés.
3. Estabilitat del procés:
- El coeficient d'expansió tèrmica dels discs de poliment d'alúmina d'alta puresa és similar al del silici, cosa que ajuda a reduir l'estrès tèrmic causat pels canvis de temperatura i a millorar l'estabilitat del procés.
- Un procés estable ajuda a reduir la taxa de defectes en el procés de producció i a millorar l'eficiència de la producció.
4. Estabilitat química:
- L'alúmina d'alta puresa té una excel·lent estabilitat química i és capaç de mantenir les seves propietats i estructura en una àmplia gamma d'entorns químics.
- Això fa que els discs de polit d'òxid d'alumini d'alta puresa siguin menys susceptibles a la corrosió o al desgast durant el procés de polit i mantinguin una vida útil més llarga.
5. Beneficis econòmics:
- Tot i que el cost inicial d'un disc de poliment d'alúmina d'alta puresa pot ser elevat, les seves excel·lents propietats i la seva llarga vida útil redueixen el cost general de producció.
- A més, els discs de polit d'alta puresa poden millorar la qualitat del producte i l'estabilitat del procés, reduir la taxa de productes defectuosos i millorar encara més els beneficis econòmics.
6. Impacte dels indicadors tècnics:
- Segons l'article esmentat, els discs de poliment d'alúmina d'alta puresa (99,7%-99,9%) tenen excel·lents propietats físiques i químiques, com ara una alta resistència mecànica, una alta resistència al desgast, un alt aïllament elèctric, una alta estabilitat química i una bona resistència a la calor i a la corrosió.
- Aquests indicadors tècnics afecten directament l'efecte del procés de poliment i la qualitat del producte.
La puresa del disc de placa polida d'oblia de ceràmica d'alúmina té un impacte important en el procés. El disc de poliment d'alta puresa pot millorar l'efecte de poliment, la qualitat del producte i l'estabilitat del procés, alhora que redueix el cost de producció general. Per tant, en el procés de fabricació de semiconductors, l'elecció de discs de poliment d'alúmina d'alta puresa és important per garantir la qualitat del producte i millorar l'eficiència de la producció.
Data de publicació: 14 de juliol de 2024